伺服馬達的 追隨誤差 意指 收到的命令與實際位置的差，即：
追隨誤差 ＝ 命令位置 － 實際位置
一般而言，在增益調整良好的狀況下，追隨誤差的特性為：
- 馬達停止時：誤差幾乎為 ０
- 做加減速時：誤差很大
- 等速運轉時：誤差中等
以梯形加減速進行定位得到的圖形如下：兩端速度為0時追隨誤差也近乎0，中間運轉時誤差就變大！
[圖一]伺服運轉時的追隨誤差
在實際應用中，如果是點對點運動，運動程序會等伺服停止後的定位完成信號輸出，才進行後續的動作，所以追隨誤差並不會造成大問題，因為停止後就幾乎沒有誤差了！然而，若是電子凸輪（主／從軸追隨）的應用時，就必須盡量減少追隨誤差，否則彼此間的相位就會產生偏離，使整體的加工精度打折扣！例如 包裝機的送膜軸與切刀軸，就必須要求運轉時與主軸沒有相位差，否則勢必影響成品的包裝效果．
若要減少追隨誤差，以伺服控制而言必須加大增益，但可能造成剛性過大，犧牲了穩定性！由於電子凸輪這類的應用，機台常常都是以皮帶與鍊條來帶動，剛性較差，伺服增益想要調高並不容易！解決方式可以從 命令補償 與 增益調整 雙管齊下比較容易達成，請參考文章：伺服追隨誤差（２）－台達伺服消除追隨誤差的方法！