伺服马达的 追随误差 意指 收到的命令与实际位置的差，即：
追随误差 ＝ 命令位置 － 实际位置
一般而言，在增益调整良好的状况下，追随误差的特性为：
- 马达停止时：误差几乎为 ０
- 做加减速时：误差很大
- 等速运转时：误差中等
以梯形加减速进行定位得到的图形如下：两端速度为0时追随误差也近乎0，中间运转时误差就变大！
[图一]伺服运转时的追随误差
在实际应用中，如果是点对点运动，运动程序会等伺服停止后的定位完成信号输出，才进行后续的动作，所以追随误差并不会造成大问题，因为停止后就几乎没有误差了！然而，若是电子凸轮（主／从轴追随）的应用时，就必须尽量减少追随误差，否则彼此间的相位就会产生偏离，使整体的加工精度打折扣！例如 包装机的送膜轴与切刀轴，就必须要求运转时与主轴没有相位差，否则势必影响成品的包装效果．
若要减少追随误差，以伺服控制而言必须加大增益，但可能造成刚性过大，牺牲了稳定性！由于电子凸轮这类的应用，机台常常都是以皮带与鍊条来带动，刚性较差，伺服增益想要调高并不容易！解决方式可以从 命令补偿 与 增益调整 双管齐下比较容易达成，请参考文章：伺服追随误差（２）－台达伺服消除追随误差的方法！